一、结构特征

 M3手持式四探针测试仪主机                                 配ST2253-F01钨针探头测试硅片                  配ST2558B-F01薄膜探头测试ITO膜

二、概述

2.1基本功能和依据标准：

  M3手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试材料电阻率/方块电阻的多用途、高性价比测量仪器。

该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》等国标并参考美国 A.S.T.M 标准。

    2.2配套组成：标准配置由M-3型主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台当台式机使用。

2.3优势特征：

1美观适用：彩色流线型手持式面板、带防滑垫，符合人体工程学设计。适合手持式变动场合操作使用，也可以定制小型旅行手提箱包装，便于野外或旅行使用。

2高精度：带完善厚度、形状修正功能，测试准确。同行中手持式多为简易程序，没有完整修正功能，无法修正误差。

3宽量程：超宽五个档位，相当于中档台式机的量程，同行中手持式多为两到三个档位，测试范围有限，适应性不广。

4操作简便、性能稳定：轻触数字化键盘实现参数设定、功能转换，简便而且免除模拟定位器的不稳定易受干扰。

5手动/自动一体化：

6显示方式美观清晰：由高亮绿色数码和ＬＥＤ数字表头显示，不怕环境背景暗或野外强光；

7待机和工作时间长（不小于两天），有大容量可充电锂电池电池供电，环保耐用。

2.4探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。详情见《四探针探头型号规格特征选型参照表》

1配高耐磨的碳化钨探针探头，如ST2253-F01型，以测试硅等半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；

2配不伤膜的球形或平头镀金铜合金探针探头，如ST2558B-F01型，可测金属箔、碳纸等导电薄膜，也可测陶瓷、玻璃或PE膜等基底上导电涂层膜，如金属镀膜、喷涂膜、ITO膜、电容卷积膜等材料的薄膜涂层电阻率/方阻。

3配专用箔上涂层探头，如ST2558B-F02型，也可测试锂电池电池极片等箔上涂层电阻率/方阻。

4换上四端子测试夹具，还可对电阻器的体电阻进行测量。

2.5测试台选配：根据不同材料特性需要，测试台可有多款选配。详情见《四探针测试台型号规格特征选型参照表》

四探针法测试固体或薄膜材料选配SZT-A型或SZT-B型（电动）或SZT-C型（快速恒压）测试台。

二探针法测试细长棒类材料选配SZT-K型测试台.

平行四刀法测试橡塑材料选配SZT-G型测试台。

2.6适用范围：手持式使用，仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校四探针法对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。 

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三、基本技术参数

1.测量范围、分辨率

电    阻：     0.010Ω～ 50.00kΩ,     分辨率0.001Ω～ 10 Ω

电 阻 率：     0.010Ω-cm～ 20.00kΩ-cm， 分辨率0.001Ω～ 10 Ω-cm

方块电阻：     0.050Ω/□ ～ 100.00kΩ/□   分辨率0.001Ω～ 10 Ω/□

2.可测材料尺寸

手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台决定如下：

直    径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm。

SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。

长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm。.

测量方位: 轴向、径向均可.

3.量程划分及误差等级（括号内为拓展量程）

4)充电器工作电源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或电池供电DC3.7V.

5)外形尺寸：W×H×L=10cm×3.6cm×21cm

净   重：≤0.3kg

注：该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证，不可用于临床诊断或治疗等相关用途