M-3手持式四探针测试仪

二、概述

      3型手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国标并参考美国 A.S.T.M 标准。

      成套组成：由M-3主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。

仪器所有参数设定、功能转换全部采用轻触按键输入；具有零位、满度自校功能；手动/自动转换量程可选；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！

      探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

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仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。

仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的手持式导电性能的测试。

三、基本技术参数

1. 测量范围、分辨率

    电    阻:   0.010Ω ～ 50.00kΩ,     分辨率0.001 ～ 10 Ω

    电 阻 率:   0.010Ω～ 20.00kΩ-cm，分辨率0.001 ～ 10 Ω-cm

    方块电阻:   0.050Ω～ 100.0kΩ/□   分辨率0.001 ～ 10 Ω/□

2. 可测材料尺寸

   手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台决定如下：

    直    径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm。

    SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。

    长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm。.

    测量方位: 轴向、径向均可.